近日國(guó)機(jī)集團(tuán)所屬沈陽(yáng)儀表院承擔(dān)的沈陽(yáng)市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展計(jì)劃項(xiàng)目——“高性能硅電容壓力傳感器”順利通過驗(yàn)收，該項(xiàng)目填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)高性能硅電容壓力傳感器的空白。
      該項(xiàng)目采用先進(jìn)的微電子和微機(jī)械加工相結(jié)合的工藝技術(shù)，在硅電容傳感器設(shè)計(jì)、制造工藝技術(shù)、傳感器封裝結(jié)構(gòu)等方面具有**性，解決了硅電容傳感器研制的工藝技術(shù)難題，開發(fā)研制出完全擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新型高性能硅電容差壓傳感器產(chǎn)品，產(chǎn)品精度優(yōu)于0.075%FS，技術(shù)水平達(dá)到國(guó)內(nèi)**、國(guó)際**。

      該項(xiàng)目建成了年生產(chǎn)能力一萬(wàn)臺(tái)的硅電容差壓傳感器生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的系列化生產(chǎn)，并**實(shí)現(xiàn)智能變送器產(chǎn)品核心傳感器的國(guó)產(chǎn)化配套，打破了國(guó)外的技術(shù)封鎖，*******。同時(shí)，作為上游核心器件，該項(xiàng)研究帶動(dòng)了傳感器、變送器及相關(guān)儀表產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，解決了有表無(wú)芯的問題，有效地支撐了**裝備制造產(chǎn)業(yè)鏈建設(shè)。高性能硅電容壓力傳感器順利通過驗(yàn)收對(duì)我國(guó)壓力傳感器的發(fā)展和進(jìn)步邁下了堅(jiān)實(shí)的一步。
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